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PSR4/5A-212

PSR4/5A-212

  采用專有防沖撞技術的旋轉主軸,速度能夠超過30,000rpm
  精密的固定底座機架,XY軸行程超過2米
  結構緊湊的旋轉支架,集成了XY和旋轉空氣軸承軸,并配置了高性能控制部件
  分軸機架,適用于高速、高精度的活動底座系統(tǒng)
  小剖面的XY平面平臺,在增加行程的同時不會對性能產(chǎn)生任何不利影響
  緊湊式小剖面單軸平臺,分辨率低于1納米
  用于自動聚焦應用的High Dynamics Z-Axis
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  采用專有防沖撞技術的旋轉主軸,速度能夠超過30,000rpm
  精密的固定底座機架,XY軸行程超過2米
  結構緊湊的旋轉支架,集成了XY和旋轉空氣軸承軸,并配置了高性能控制部件
  分軸機架,適用于高速、高精度的活動底座系統(tǒng)
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